真空干燥箱的工作流程

    真空干燥箱的工作流程
    真空干燥箱主要适用于IC、BGA、精密电子组件、特殊化学药品、精密仪器 、中药材、古董名画等做防潮储存用。其防潮原理是利用高分子物料理吸湿材质将湿气带出，其饱和后，主机板自动加热，再次循环，此产品是常年插电使用，且功率较小，无需更换耗材，是各类物料做防潮存放的好帮手。
   真空干燥箱简称干燥箱，分为250度、300度、400度和500度配置，主要用于各种产品或材料及电子、电工、化工等在恒温环境下做干燥和各种恒温适应性试验。客户要根据自己不同的需求选配不同的温度配置。
   真空干燥箱的一般工作流程：
   先确定真空干燥箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入药液，进入保持阶段，使硅片充分反应。
    当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程，整个反应持续到空间位阻(*基硅烷基较大)阻止其进一步反应，尾气排放等：多余的蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到废气收集管道。在无废气收集管道时需做专门处理。真空干燥箱是专业为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计的，工作时可使工作室内保持一定的真空度，并能够向真空干燥箱的内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥，温控仪采用韩国进口HM品牌的智能型数字温度调节仪进行温度的设定、显示与控制。
　　“相对真空度”是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。真空干燥箱在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到-101.325KPa(一般用负数表示)之间。