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真空干燥箱的工作流程
  • 发布日期:2018-09-20      浏览次数:565
    •     真空干燥箱的工作流程
          真空干燥箱主要适用于IC、BGA、精密电子组件、特殊化学药品、精密仪器 、中药材、古董名画等做防潮储存用。其防潮原理是利用高分子物料理吸湿材质将湿气带出,其饱和后,主机板自动加热,再次循环,此产品是常年插电使用,且功率较小,无需更换耗材,是各类物料做防潮存放的好帮手。
         真空干燥箱简称干燥箱,分为250度、300度、400度和500度配置,主要用于各种产品或材料及电子、电工、化工等在恒温环境下做干燥和各种恒温适应性试验。客户要根据自己不同的需求选配不同的温度配置。
         真空干燥箱的一般工作流程:
         先确定真空干燥箱工作温度。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真空度达到某一高真空度后,开始充人氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入药液,进入保持阶段,使硅片充分反应。
          当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程,整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应,尾气排放等:多余的蒸汽(尾气)将由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。真空干燥箱是专业为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计的,工作时可使工作室内保持一定的真空度,并能够向真空干燥箱的内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥,温控仪采用韩国进口HM品牌的智能型数字温度调节仪进行温度的设定、显示与控制。
        “相对真空度”是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。真空干燥箱在没有真空的状态下(即常压时),表的初始值为0。当测量真空时,它的值介于0到-101.325KPa(一般用负数表示)之间。
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